工具顯微鏡（以下簡稱工顯）是種可用影象法、軸切法以及干涉法按平面直角坐標、坐標和圓柱坐標能地測量長度、角度及各種復雜的幾何形狀的常用光學與機械相結合的測量計量儀器。它的物鏡配有倍物鏡、三倍物鏡和五倍物鏡;目鏡配有測角目鏡、螺蚊輪廓目鏡、圓弧輪廓目鏡等,這些在使用中配用的物鏡和目鏡其放大率都須符合相關技術要求。

本文主要介紹工顯主顯微鏡放大倍數(shù)和讀數(shù)裝置放大倍數(shù)以及縱、橫向讀數(shù)顯微鏡視差的調(diào)修。 按照計量檢定規(guī)程JJG56 2000!工具顯微鏡∀的要求,主顯微鏡放大倍數(shù)的正確性和讀數(shù)裝置放大倍數(shù)的正確性在*檢定和后續(xù)檢定中都是檢項目,經(jīng)檢定不合格的儀器應調(diào)修。

工顯種類很多,主顯微鏡放大倍數(shù)的調(diào)修,各種類型的工具顯微鏡基本相同;讀數(shù)裝置放大倍數(shù)的調(diào)修,各種類型的工顯從位置上和形式上有所不同。

以下以讀數(shù)顯微鏡形式為例,說明其調(diào)修方法供參考。

1??工顯主微鏡放大倍數(shù)的調(diào)修

根據(jù)工具顯微鏡檢定規(guī)程,工顯#主顯微鏡放大倍數(shù)的正確性∃的檢定方法如下:

在主顯微鏡上安裝測角目鏡檢定時,分別裝上各種物鏡?？潭瘸叻胖迷诓ＡЧぷ髋_上。升降主顯微鏡臂架,使在主顯微鏡視場內(nèi)見到清晰的刻度尺刻線影像。調(diào)整工作臺,使刻度尺平行于縱向滑板的移動方向,轉動測角目鏡,使測角目鏡的示值于零位。

移動縱向滑板,使刻度尺的零線與測角目鏡中相距遠的兩條刻線中的條刻線對準,然后觀察另條刻線與刻度尺上相應的刻線是否重合,若不重合時,則從縱向讀數(shù)裝置中讀出其偏差??（??m）。主顯微鏡放大倍數(shù)誤差按?? =??/1000L%計算求得,式中:L為檢定時所用刻度尺上兩條刻線的間距,mm。在顯微鏡上安裝輪廓目鏡檢定時,其方法與上述相同。

主顯微放大倍數(shù)的正確性數(shù)值見表1。

表1??主顯微放大倍數(shù)的正確性數(shù)值表 目鏡類型 測角目鏡輪廓目鏡物鏡倍數(shù)1倍,1??5倍, 3倍5倍1倍,1??5倍, 3倍正確性 0??1% 0??15% 0??15% 如果在檢定中主顯微鏡的放大倍數(shù)不符合表1要求,則需調(diào)修。且在調(diào)修時須選擇個基準,根據(jù)儀器結構可選擇測角目鏡和3倍物鏡;也可選擇輪廓目鏡和3倍物鏡。如選擇測角目鏡和3倍物鏡:當用3倍物鏡時,工作臺上刻尺間距為1??8mm的兩條刻線與測角目鏡米字線分劃板寬的兩條刻線不重合,情況如圖1a表示放大倍數(shù)大,光學筒長??則須減少;

調(diào)修主顯微鏡放大倍數(shù)的方法也適用于其他類型的工顯的主顯微 鏡。（如果測角目鏡放大率不符合要求時,則調(diào)整米字線分劃板目鏡安裝基面的距離;若1倍、5倍物鏡放大率不符合要求時,各自修正其墊圈。）

2??讀數(shù)裝置放大倍數(shù)的調(diào)修

工顯#讀數(shù)裝置放大倍數(shù)的正確性∃的檢定方法如下:先使微米刻度示值于零位,移動滑板,使毫米刻度尺的1mm線與0??1mm刻度尺零線位置的螺旋線對準,然后觀看相鄰的條毫米刻線是否與螺旋線也對準時,轉動螺旋線使其對準,并按微米刻度讀出其差值ri。這檢定應少分布于毫米刻度尺5個不同位置上進行。放大倍數(shù)誤差按!=∀ri/5式求得。根據(jù)!工具顯微鏡∀檢定規(guī)程3??7的要求,讀數(shù)裝置放大倍數(shù)的正確性應不大于0??5??m,如果超出規(guī)程要求則須調(diào)修。讀數(shù)裝置分縱、橫兩個方向。

（1）縱向讀數(shù)裝置放大倍數(shù)的調(diào)修方法基本同主顯微鏡的調(diào)修方法,只是光學筒長??的修正量有差異,當放大倍數(shù)誤差反映在數(shù)值上相差0??001mm時,光學筒長修正量為0??05mm。調(diào)修位置示意圖見圖2。 旋下固定螺帽1,取下縱向讀數(shù)鏡管3以上可取部分,修正襯圈2,按照主顯微鏡的修正方法進行修正,調(diào)整放大倍數(shù),使其符合技術要求。

（2）橫向讀數(shù)裝置放大倍數(shù)的調(diào)修方法:當橫向放大倍數(shù)需要調(diào)修時,不需修正襯圈,而只須移動1倍物鏡的軸向位置。這時須打開左側蓋板,見到內(nèi)部中間位置1倍物鏡結構。調(diào)修時松開其固定螺帽,使1倍物鏡能沿光軸方向前后移動,改變目鏡與物鏡的相對距離,當放大倍數(shù)符合技術要求時,再固定螺帽。

3??讀數(shù)顯微鏡視差的調(diào)修

這里的視差是指玻璃毫米標尺的刻線不能清晰地成像在讀數(shù)顯微鏡的分劃板上,因此只有改變相關距離,才能視差,這也是我們平常對工顯調(diào)修須重視的項內(nèi)容。

（1）縱向讀數(shù)顯微鏡的視差調(diào)修 時,應先移動縱向滑座,如觀察到#0∃#200mm∃整個行程的視差均模糊,這是由于相對位置走動而造成的,這時松開讀數(shù)顯微鏡（可照圖2）下面的緊固螺帽2,轉動物鏡3,使刻尺像清晰,重新緊固螺帽2。如果#0∃位置清晰,#200mm∃位置模糊或#200mm∃位置清晰而#0∃位置模糊,這是由于毫米刻尺安裝基面與縱向滑板移動平面不平行而造成,則須修正毫米刻尺的安裝基面,直平行,能視差。

（2）橫向讀數(shù)顯微鏡的視差的調(diào)修,同理應先移動橫向滑座,如觀察到#0∃#100mm∃整個行程的視差均模糊,處理情況類上。如#0∃位置清 晰, #100mm∃位置模糊或#100mm∃位置清晰#0∃位置模糊,說明毫米刻尺與滑座移動平面不平行,這時須取下刻尺保護罩,調(diào)整刻尺兩端處的調(diào)節(jié)螺釘（上下各兩只）,直平行,可以視差。 縱、橫向讀數(shù)顯微鏡的視差的調(diào)修中如果再出現(xiàn)整個行程的視差均模糊,可重復前述調(diào)修方法,直毫米刻尺平行清晰。 調(diào)修后的工顯須重新檢定,儀器應符合JJG56 2000工具顯微鏡檢定規(guī)程要求。